Beschreibung:
MKS-Diaphragmventile sind präzisionsgefertigte Isolations- und Drosselregelventile, die speziell für hochreine Gas-, Vakuum- und kritische Fluidprozessindustrien entwickelt wurden und auf der jahrzehntelangen Präzisions-Flüssigkeitssteuerungstechnologie von MKS für die Bereiche Halbleiter, Vakuumbeschichtung, Biotechnologie und Feinchemie basieren. Durch die Verwendung einer zentralen Membran-Isolationsstruktur trennt die flexible Membran das Prozessmedium vollständig von dem Antrieb und den internen beweglichen Komponenten, wodurch eine externe Leckage auf Null reduziert wird, ein ultrareiner Strömungskanal entsteht und eine präzise Auf/Zu- sowie proportionale Durchflussregelung ermöglicht wird. Sie werden häufig zusammen mit MKS-Massendurchflussreglern, Drucksensoren und Prozesssteuerungssystemen für vollständige industrielle Fluidlösungen eingesetzt.
Wichtige Spezifikationen:
- Die Membran-Isolationskonstruktion eliminiert das Risiko externer Leckagen; ein glatter, totraumfreier interner Strömungsweg verhindert Partikelansammlungen und erfüllt höchste Reinheits- und Hygienestandards für Gase, ideal für Reinraum- und Halbleiter-Waferfertigung.
- Optionale Membranmaterialien: Kalrez, Viton, Buna-N, EPDM, PTFE, kompatibel mit Inertgas, korrosivem Chemiegas, hochreinen Flüssigkeiten, Lösungsmitteln und niedrigviskosen Schlämmen; geeignet für Betriebstemperaturen von -10℃ bis zu 150℃ für Hochtemperaturprozessmodelle.
- In Kombination mit dem originalen MKS-Steuerantrieb und Durchflusssensor ermöglicht es eine hochpräzise geschlossene Regelung von Durchfluss und Druck; der einstellbare Durchflussbereich reicht von 0.1 sccm bis 50000 sccm mit hervorragender Stabilität bei niedrigen Durchflüssen, minimale regelbare Durchflussmenge bis zu 0,1 % des Skalenendwerts.
- Verfügbar in manueller, magnetventilgesteuerter (Solenoid) und pneumatischer Betätigung (normal offen/normal geschlossen); Endanschlüsse umfassen VCR, KF-Flansch, NPT-Gewinde, ISO-Standardflansch zur Anpassung an weltweit gängige Rohrleitungsspezifikationen.
- Schnell austauschbare Membran ohne vollständige Ventildemontage; kompakte All-in-One-Struktur reduziert Ersatzteilkosten und Ausfallzeiten, hohe Zyklenfestigkeit für häufige Schaltbedingungen.
- Strenge Lecktests vor Auslieferung ab Werk, geeignet für Hoch- und Ultrahochvakuum-Rohrleitungsisolierung in Beschichtungs-, Verdampfungs- und Dünnschichtabscheidungsanlagen.
F1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware in Originalqualität. 1 Jahr Garantie inklusive.
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A: T/T, Paypal unterstützt.
F3: Wie ist die Lieferzeit des Produkts? Gibt es ausreichenden Lagerbestand?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlungseingang. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung—bitte kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
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A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
F5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalmarkenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.