Beschreibung:
MKS RF Matchers (auch RF-Anpassgeräte/RF-Matching-Boxen/Netzwerke genannt) sind hochleistungsfähige automatische Impedanzanpassungsgeräte, entwickelt für Halbleiter- und industrielle Plasmasysteme. Sie passen dynamisch die 50Ω-Ausgangsimpedanz von RF-Generatoren an die variable Impedanz von Plasmakammern, Ätzern, PECVD- und Sputteranlagen an, minimieren die reflektierte Leistung und maximieren die Leistungsübertragungseffizienz. Mit schneller Abstimmung, robuster Abschirmung und kompakten Rack-Mount-Designs gewährleisten sie eine stabile Plasmazündung, konsistente Prozessleistung und 24/7-Produktionszuverlässigkeit. Erhältlich als neu, generalüberholt und vollständig getestete Gebrauchtgeräte.
Wichtige Spezifikationen:
- Automatische Impedanzanpassung: Echtzeit-Abstimmung zur Anpassung der 50Ω-Generatorausgangsimpedanz an die variable Plasmalastimpedanz; minimiert reflektierte Leistung (typischerweise
- Schnelle Abstimmungsgeschwindigkeit: Hochgeschwindigkeitsreaktion (
- Breite Frequenz- und Leistungsabdeckung: Unterstützt 13.56MHz (Standard), 27.12MHz, 40.68MHz; Leistungsbereiche von 300W bis 10kW
- Robuste Konstruktion: Robustes Metallgehäuse mit EMI/RFI-Abschirmung; luftgekühlt standardmäßig (Wasserkühlung optional für Hochleistungsmodelle)
- Präzisionskomponenten: Hochwertige variable Kondensatoren, Induktivitäten und Schrittmotoren für lange Lebensdauer (1.000.000+ Zyklen)
Anwendungsbereiche:
- Halbleiterfertigung: RIE/ICP-Ätzen, PECVD/LPCVD-Abscheidung, Plasma-Ashing, Wafer-Reinigung, Load-Lock-Systeme
- Vakuumbeschichtung: Sputtern, Verdampfung, PVD/CVD-Dünnschichtabscheidung für Optik, Displays und Solarzellen
- Industrielle Plasmabehandlung: Oberflächenaktivierung, Reinigung, Ätzen und Beschichtung von Metallen, Kunststoffen und Keramiken
- Forschung & Entwicklung: Universitätslabore, Forschungseinrichtungen und Pilot-Produktionslinien, die eine stabile RF-Plasmaversorgung erfordern
FAQ:
Q1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Neuware (Originalprodukte). 1 Jahr Garantie inklusive.
Q2: Wie sind Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, Paypal unterstützt.
Q3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Herstellerbestellung – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
Q4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Durchgängige Überwachung durch unser Team.
Q5: Verpackung & Sicherheit
A: Originalverpackung der Marke mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.