Beschreibung:
MKS RF Matchers (auch RF-Matching-Boxen/-Netzwerke genannt) sind hochleistungsfähige automatische Impedanzanpassungsgeräte, die für Halbleiter- und industrielle Plasmasysteme entwickelt wurden. Sie gleichen die 50Ω-Ausgangsimpedanz von RF-Generatoren dynamisch an die variable Impedanz von Plasmakammern, Ätzanlagen, PECVD- und Sputteranlagen an und minimieren dabei die reflektierte Leistung und maximieren die Effizienz der Leistungsübertragung. Mit schneller Abstimmung, robuster Abschirmung und kompakten Rack-Mount-Designs gewährleisten sie eine stabile Plasmazündung, eine konsistente Prozessleistung und 24/7-Produktionszuverlässigkeit. Erhältlich in neuen, generalüberholten und vollständig getesteten gebrauchten Zuständen.
Wichtige Spezifikationen:
- Automatische Impedanzanpassung: Echtzeit-Abstimmung zur Anpassung der 50Ω-Generatorausgangsimpedanz an die variable Plasma-Lastimpedanz; minimiert die reflektierte Leistung (typischerweise
- Schnelle Abstimmgeschwindigkeit: Hochgeschwindigkeitsreaktion (
- Breite Frequenz- & Leistungsabdeckung: Unterstützt 13,56 MHz (Standard), 27,12 MHz, 40,68 MHz; Leistungsbereiche von 300 W bis 10 kW
- Robuste Konstruktion: Hochbelastbares Metallgehäuse mit EMI/RFI-Abschirmung; standardmäßig luftgekühlt (Wasser-Kühloption für Hochleistungsmodelle)
- Präzisionskomponenten: Hochwertige variable Kondensatoren, Induktivitäten und Schrittmotoren für lange Lebensdauer (über 1.000.000 Zyklen)
Anwendungen:
- Halbleiterfertigung: RIE/ICP-Ätzen, PECVD/LPCVD-Abscheidung, Plasma-Ashing, Wafer-Reinigung, Load-Lock-Systeme
- Vakuumbeschichtung: Sputtern, Verdampfung, PVD/CVD-Dünnschichtabscheidung für Optik, Displays und Solarzellen
- Industrielle Plasmabehandlung: Oberflächenaktivierung, Reinigung, Ätzen und Beschichtung für Metalle, Kunststoffe und Keramiken
- Forschung & Entwicklung: Universitätslabore, Forschungseinrichtungen und Pilot-Produktionslinien, die eine stabile HF-Plasmazufuhr erfordern
FAQ:
F1: Wie ist der Produktzustand und die Garantie?
A: Brandneue Originalartikel. 1 Jahr Garantie inklusive.
F2: Wie lauten Ihre Zahlungsbedingungen?
A: T/T, PayPal unterstützt.
F3: Wie ist die Lieferzeit für das Produkt? Ist ausreichend Lagerbestand vorhanden?
A: Standardmodelle auf Lager, Versand innerhalb von 3–5 Werktagen nach Zahlung. Seltene Modelle erfordern eine Bestellung beim Hersteller – kontaktieren Sie den Kundenservice für Zeitpläne.
F4: Versand & Sendungsverfolgung
A: DHL/FedEx/UPS verfügbar. Sendungsverfolgungsnummer + Link werden nach Versand bereitgestellt. Vollständige Prozessüberwachung durch unser Team.
F5: Verpackung & Sicherheit
A: Original Markenverpackung mit verstärktem Schutz (Schaumstoff, versiegelte Kartons, Holzkisten für Präzisionsgeräte). Feuchtigkeits- und stoßfest.